Thermo Scientific ™ Helios ™ 5 Laser PFIB grote volume 3D analyse, Ga-vrije monster voorbereiding, en precisie microverwerking. Met een innovatieve, volledig geïntegreerde femtoseconde laser, die biedt materiaal verwijdering en snijplaats kwaliteit, is een hoogwaardige sub-oppervlakte en 3D-karakterisering apparaat met een nanoresolutie op een millimeter schaal.

Fibrosecondenlaser PFIB

Zui groot volume: 2000 × 2000 × 1000 μm3
Zui stroom: ~ 1mA (gelijkwaardig aan de stroom van de ionstraal)
Snijstroom: 74μA
Grootte van de vlekken: 15 μm
Laser-integratie: 3 stralen (SEM / PFIB / laser) volledig geïntegreerd in de monsterkamer en met hetzelfde overlappingspunt,
Realiseer nauwkeurige, herhaalbare snijposities en 3D-karakterisatie.
Eén harmonie: golflengte 1030 nm (infrarood), pulsbreedte <280 fs
Secondaire harmonie: golflengte 515 nm (groen), pulsbreedte < 300 fs
Elektronische optiek:
☆ Drie stralen overlapping punt WD = 4 mm (hetzelfde als SEM / FIB)
Variabele lensen (elektrisch)
☆ Polarisatie: horizontaal / verticaal
Herhalingsfrequentie: 1 kHz tot 1 MHz
Straalpositioneringsnauwkeurigheid: < 250 nm
Bescherming: Automatische SEM/PFIB bescherming
De software:
☆ Laserbesturingssoftware
☆ Laser 3D continu snijden werkstroom
☆ EBSD laser 3D continue snijden werkstroom
☆ Laserprogrammering controle script*
Beveiliging: Afsluitbare laserbescherming (klasse 1 laserbeveiliging)

Kenmerken en gebruik:

☆ mm-klasse doorsneedmateriaal Verwijdering, materiaal Verwijderingssnelheid 15.000 keer sneller dan typische Ga + FIB
☆ Statistisch gerelateerde onderoppervlakte en 3D-gegevensanalyse door het verzamelen van grotere volumes in kortere tijd
☆ Nauwkeurige, herhaalbare snijpositie, drie bundels op hetzelfde punt op het monster
☆ Snelle karakterisatie van diepe ondergrondse kenmerken door het extraheren van TEM-plaatjes of blokken voor 3D-analyse
☆ High throughput voor uitdagende materialen zoals niet-geleidende of gevoelige voor ionstralen
☆ Het bereiken van een snelle en eenvoudige karakterisatie van luchtgevoelige monsters zonder dat het monster tussen verschillende instrumenten moet worden overgedragen voor beeldvorming en het verkrijgen van doorsneden
Alle functies van het Helios 5 PFIB-platform zijn zeer betrouwbaar, inclusief hoogwaardige galliumvrije TEM- en APT-monstervoorbereiding en hoge resolutie-beeldvorming